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3D-Profiler
모델명 Dektak 150
제작 업체명, 국가 Veeco, 미국
기능 표면 측정으로부터 3-D mapping을 포함하여 다각적인 분석자료를 제공
담당자 박만석, tel: 02-944-6026
email: mspark@seoultp.or.kr
⦁ 웨이퍼 표면 금속 에지 균질도
⦁ 박막 강도 계산
⦁ 전도성 필름/포토레지스터 두께, 박,후막 측정
⦁ 마이크로렌즈 높이, 곡률 그리고 V그루브 깊이 해석
⦁ 거칠기 연구
⦁ 높은 AR 비율의 트렌치 깊이 측정
⦁ 100 angstrom 보다 더 낮은 필름 두께 측정

Specification
Substrate Size up to 8” wafer
Step limit >500㎛
Stylus radius 5㎛

Application
Litho pattern size
Film thickness