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Oxidation furnace
모델명 SJF-1000
제작 업체명, 국가 성진세미텍, 한국
기능 Specification Wafer size 4”, 6”, 8” Process Wafers 60매(Dummy 10매 포함) Temperature 600℃~1200℃ Application Dry/Wet Oxidation
담당자 신소원, tel: 02-944-6026
email: sowon87@seoultp.or.kr
Specification
Wafer size: 4”, 6”, 8”
Process Wafers: 60매(Dummy 10매 포함)
Temperature: 600℃~1200℃

Process Uniformity: Wet & Dry - 5% 이내
Application: Dry/Wet Oxidation