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A film stress mapping system
모델명 MOS Ultra Scan
제작 업체명, 국가 k-Space Associates,Inc.
기능 Curvature & Stress 측정 장비 bare & thin film wafer 측정가능
담당자 신소원, tel: 02-944-6026
email: sowon87@seoultp.or.kr
필름스트레스매핑시스템

wafer의 수와 시간에 상관없이 시간당 단가로 요금이 처리됨.
Stress 측정시 공전 전 wafer scan 필요
wafer scan time은 설정에 따라 크게 달라짐.
polishing된 surface가 필요함.
patterned wafer의 경우 뒤집어서 측정해야함. 뒷면이 polishing되어 있어야함.

Performance
1. Scan Range: 300mm (x,y)
2. Scan Speed: Max 20mm/sec (x,y)
3. Scan Resolution: 2µm up to 200mm x,y scanning range, 4 µm at 300mm x,y scanning range
4. Average Curvature Resolution: < 2e-5 (1/m) 1-sigma (50km radius) 1-sigma
5. Average Tilt: < 5e-6 (radians) 1-sigma
6. Scan Geometry: Programmable multi-point line scan, or full area scan
7. Laser Wavelength: 660nm nominal.